六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于電器工業，如：斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。
冷凍工業作為致冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業利用其很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。采礦工業用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。
SF₆還因其化學惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫療（Ｘ光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（汽車輪胎、新型滅火器）等。
電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。
隨著當今科技的發展，SF₆涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。^[5]

 主要用于高壓開關中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射線設備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學穩定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業中可作為冷凍劑(操作溫度在-45～0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放射化學中也有應用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧