美國x射線鍍金膜厚儀可應用于在線膜厚測量,測氧化物,SiNx,感光保護膜和半導體膜.也可以用來測量鍍在鋼,鋁,銅,陶瓷和塑料等上的粗糙膜層. 薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉,干涉的發生與膜厚及折光系數等有關,因此可通過計算得到薄膜的厚度.光干涉法是一種無損,精確且快速的光學薄膜厚度測量技術,薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。
博曼x射線鍍金膜厚儀：　
1,可以測量多層膜中每一層的厚度
2,三維的厚度型貌
3,遠程控制和在線測量
4,可做150mm or 300mm 的大范圍的掃描測試
5,豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數據,基本上的常用材料都包括在這個材料庫中.用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料.
6,軟件操作簡單,測速快:膜厚測量儀操作非常簡單,測量速度快:100ms-1s.
7,軟件帶有構建材料結構的拓展功能,可對單/多層薄膜數據進行擬合分析,可對薄膜材料進行預先模擬設計.
8,軟件帶有可升級的掃描功能,進行薄膜二維的測試,并將結果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級功能還包括在線分析軟件,遠程控制模塊等>膜厚儀的技術參數
厚度測量:10納米-250微米; 可以選擇250nm-1100nm間任一波長,也可在該范圍內選擇多波長分析;
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